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为半导体行业量身定制的工业冷水机系列
BRD-WK系列
技术参数
制热量
1-50kW
温控精度
±0.1°C
控温范围
-40°C ~ 100°C
制热
电伴热温控
电源
380V/50Hz
产品特点
- PID 智能温控系统
- 不锈钢电箱
- 低噪音设计
- 远程监控接口
应用领域
半导体刻蚀设备离子注入机溅射设备
LSJ-800 系列
技术参数
制热量
10-80kW
温控精度
±0.05°C
控温范围
5°C ~ 35°C
制热
R410A/R407C
电源
380V/50Hz
产品特点
- 双压缩机冗余设计
- 触摸屏控制面板
- 故障自诊断功能
- RS485 通讯接口
应用领域
光刻机冷却系统显影设备检测设备
JK-1200 系列
技术参数
制热量
1-120kW
温控精度
±0.1°C
控温范围
5°C ~ 35°C
制热
工业级夹克
电源
380V/50Hz
产品特点
- 模块化设计
- 变频节能技术
- 多重安全保护
- 物联网远程监控
应用领域
薄膜沉积设备扩散炉退火设备
WSY-2000 系列
技术参数
制热量
50-200kW
温控精度
±0.2°C
控温范围
5°C ~ 35°C
制热
R410A/R407C
电源
380V/50Hz
产品特点
- 集中控制系统
- 能量自动调节
- 备用机组切换
- 能效管理系统
应用领域
整厂集中冷却大型生产设备多机并联系统